离子植入机、离子植入机之内部结构以及离子植入机内之涂层之形成方法

摘要

一种离子植入机，包括一反应室及一涂层。反应室系接收基板，并于基板上提供一进行离子植入制程之空间。涂层系配至于反应室之内壁，以减少基板之污染。涂层与基板包括相同之材料。