半导体晶粒拾取装置及拾取方法

摘要

一种半导体晶粒拾取装置，系于剥离保持片时抑制加于半导体晶粒之力量并能容易地拾取半导体晶粒。;具备：包含从紧贴面22出入之前端33b的刮刷器33；及遮住位于刮刷器33之移动方向之开口41且与刮刷器33一起移动的挡门23。拾取半导体晶粒15时，在使半导体晶粒15之一端15a对准刮刷器33之前端33b，并以筒夹18吸附半导体晶粒15之状态下，使刮刷器33之前端33b从紧贴面22突出并使刮刷器33沿紧贴面22移动，于开口41之一端面41a与片(sheet)面33a之间依序打开吸引开口42，使保持片12从半导体晶粒15之一端15a侧依序吸引于吸引开口42而从半导体晶粒15依序剥离保持片12。