用以连接基板的设备

摘要

提供一种用以将基板彼此连接的设备，包括一下方腔室，其中固持有一第一基板；一上方腔室，其中固持有一第二基板。可将该上方及下方腔室带在一起而形成一可用以将该第一及第二基板彼此连接的密封空间。在下方腔室的每一角落设有腔室传送机制，其可移动该下方腔室朝向该上方腔室使得该下方腔室可与该上方腔室耦接。在下方腔室的侧表面上设有导引部件，用来引导移动，以于腔室内外出现压力差导致腔室变形时，可减少腔室变形的程度。