氧化铈颗粒之悬浮液及粉末、其制备方法及其于抛光之用途

摘要

本发明系关于氧化铈颗粒之悬浮液，其中该等颗粒(次级颗粒)具有至多200奈米之平均粒径，该等次级颗粒由平均粒径至多为100奈米且标准偏差至多为该平均粒径值30%的初级颗粒组成。该悬浮液系自铈III盐溶液制备，其包括使铈IV或过氧化氢水溶液在硝酸根离子存在并在惰性气氛下与硷接触；在惰性气氛下将所得媒介进行热处理且随后酸化并洗涤。粉末条藉由将悬浮液乾燥并煆烧而得。该悬浮液及该粉末可用于抛光。