具有防尘功能的微机电元件与制作方法

摘要

本发明揭示一种具有防尘功能的微机电元件与制作方法。该具有防尘功能的微机电元件，包含：一个基板，其上包含微机电元件区域；以及沉积于该基板上，防护微尘粒子之防尘层。