用于基板与遮罩对位之基板对位装置及基板与遮罩之对位方法

摘要

本发明系揭露一种基板对位装置以及一种将一基板与一遮罩对位之方法。该基板对位装置包括一挠曲补偿工具系用以将该基板之挠曲部位举起，如此可增加对位精度。