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发明名称
铜之无电电镀沈积用之电镀液
摘要
此文中揭露了一种无电铜电镀液。此电镀液包含了水性铜盐成分、水性钴盐成分、聚胺系之错合剂、化学增亮剂成分、卤化物成分及pH调整物,此pH调整物之量足以使无电铜电镀液为酸性。此文中使揭露一种无电铜电镀液的制备方法。
申请公布号
TWI367960
申请公布日期
2012.07.11
申请号
TW096122871
申请日期
2007.06.25
申请人
兰姆研究公司 美国
发明人
叶斯帝 多迪;威廉 尤;艾格达斯 维斯克立斯;尤真尼加斯 诺卡斯;珍 洁蔻丝凯妮;艾朵娜 洁格蜜妮内
分类号
C23C18/38;C23C18/31
主分类号
C23C18/38
代理机构
代理人
许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项
地址
美国
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