发明名称 铜之无电电镀沈积用之电镀液
摘要 此文中揭露了一种无电铜电镀液。此电镀液包含了水性铜盐成分、水性钴盐成分、聚胺系之错合剂、化学增亮剂成分、卤化物成分及pH调整物,此pH调整物之量足以使无电铜电镀液为酸性。此文中使揭露一种无电铜电镀液的制备方法。
申请公布号 TWI367960 申请公布日期 2012.07.11
申请号 TW096122871 申请日期 2007.06.25
申请人 兰姆研究公司 美国 发明人 叶斯帝 多迪;威廉 尤;艾格达斯 维斯克立斯;尤真尼加斯 诺卡斯;珍 洁蔻丝凯妮;艾朵娜 洁格蜜妮内
分类号 C23C18/38;C23C18/31 主分类号 C23C18/38
代理机构 代理人 许峻荣 新竹市民族路37号10楼
主权项
地址 美国