测量电镀溶液中化学物浓度的方法及设备

摘要

一种电化学电镀系统，其含有一或多个用于贮存电镀溶液的电镀槽储槽(plating cell reservoirs)，及与该一或多个电镀槽储槽流体性相通的一化学分析仪(chemical analyzer)。该化学分析仪被配置成用以测量该电镀溶液的化学品浓度。此电镀系统还含有一配管系统，其被配置成用以促进该一或多个电镀槽储槽与该化学分析仪间的该流体性相通，并实质性地将该化学分析仪与该一或多个电镀槽储槽之一或多个电镀槽所产生的电子干扰隔离。