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发明名称
凹入式通道半导体元件及其制造方法
摘要
一种形成凹入式通道半导体元件之方法,包含提供一基板结构,系包含一硬遮罩层于一基板上,且硬遮罩层具有复数个开口配置成阵列,系各暴露一沟渠式半导体结构于基板内;形成栓塞于各开口中,且与硬遮罩层邻接;移除硬遮罩层;形成间隙壁于各栓塞之侧壁;沿一第一方向,形成复数个沟渠隔离于基板中,且于沟渠式半导体结构之两侧,以界定一主动区域;以及以间隙壁为罩幕,去除基板至一预定深度,以形一凹入式通道。本发明亦提供一种具有管体轮廓之凹入式通道半导体元件。
申请公布号
TWI368297
申请公布日期
2012.07.11
申请号
TW096145005
申请日期
2007.11.27
申请人
南亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号
发明人
林瑄智;张渊琮;陈顺福;林聪志;李中元;郭哲铨
分类号
H01L21/8242
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
蔡玉玲 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区
主权项
地址
桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号
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