静电夹盘装置

摘要

本发明的目的之一系提供一种于绝缘性有机薄膜上层叠陶瓷而藉此提升对物理性外力的承受力，且具有良好的耐电压特性以及良好的吸附力之静电夹盘装置，本发明的另一目的系提供一种于绝缘性有机薄膜层叠有用以吸附被吸附体的陶瓷层之静电夹盘装置，其中，前述陶瓷层的吸附面的表面粗糙度Ra为7.0μm以下。