发明名称 光电器件及其制造方法
摘要 本发明公开了一种薄膜光电器件,包括:封闭在第一阻挡层结构(20)和第二阻挡层结构(40)之间的功能层结构(30);所述器件具有导通的电互连导电结构(10),所述电互连导电结构(10)嵌入在所述第一阻挡层结构(20)内,所述电互连导电结构(10)包括在所述阻挡层结构(20)内横向延伸的至少一个金属细长元件(12a、12b、12c),所述电互连导电结构(10)设置为抵靠所述功能层结构(30),所述电互连导电结构(10)具有嵌入所述第一阻挡层结构(20)内的、横向朝向的、被处理过的表面。
申请公布号 CN102576803A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201080045279.5 申请日期 2010.08.06
申请人 荷兰应用自然科学研究组织TNO 发明人 樊嘉辰;乔安妮·莎拉·威尔森;安东尼斯·玛丽亚·B·范默尔;S·哈尔科马
分类号 H01L51/10(2006.01)I 主分类号 H01L51/10(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 代理人 武晨燕;张颖玲
主权项 一种制造薄膜光电器件(1)的方法,包括步骤:提供(S1)第一金属基底(10);对所述金属基底的第一主表面(11)进行图案化(S2),从而在所述第一主表面(11)内产生凸起部分(12)和凹陷部分(13);在所述金属基底(12)的第一主表面(11)处沉积(S3)第一阻挡层结构(20);在与所述第一主表面(11)相对的第二主表面(15)处从所述金属基底去除(S4)材料,以显露与所述凹陷部分相对的第一阻挡层结构(20);在所述第一阻挡层结构(20)的被从所述金属基底去除材料的一侧,施加(S5)功能层结构(30);在所述功能结构的与所述第一阻挡层结构相对的一侧,施加(S6)第二阻挡层结构(40)。
地址 荷兰代尔夫特
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