用于移动平台的混合分辨率反馈的方法及装置

摘要

一种方法及装置，藉由结合低分辨率/低成本反馈器件72与高分辨率/高成本反馈器件74、76、78、80、82、84、86、88来获得来自分度系统10中的移动平台52的高分辨率位置反馈而不招致因提供高分辨率位置反馈而来自整个移动范围的相关成本。

主权项

一种用于藉由一激光处理系统激光处理物品的改良方法，该激光处理系统具有一移动平台，该方法包含：提供一操作性连接至该移动平台的低分辨率位置反馈器件以指示该移动平台在包括该等移动平台的一第一位置的一第一附近区域中的位置；指引该等移动平台移至由该低分辨率位置反馈器件指示的该第一位置；提供一操作性连接至该移动平台的高分辨率位置反馈器件以指示该移动平台在包括该第一位置的一第二附近区域中的一第二位置；及将由该高分辨率位置反馈器件指示的该第二位置传递至该激光处理系统。