X射线管和X射线分析设备

摘要

本发明公开能进一步减小尺寸与重量且能更有效检测荧光X射线等以增加灵敏度的X射线管和X射线分析设备。X射线管包含：具有处于真空状态的内部与由透射X射线的X射线透射膜构成的窗部件(1)的真空壳(2)；设于真空壳(2)中以发射电子束(e)的电子束源(3)；设于真空壳(2)中被电子束(e)照射以产生主X射线且能发射所产生的主X射线穿过窗部件(1)到外部样品(S)的目标件；设于真空壳(2)中、能检测从样品(S)发射而穿过所述窗部件入射的荧光X射线和散射X射线来输出含有该光X射线和散射X射线的能量信息的X射线检测件(4)；以及设于X射线检测件(4)与目标件(T)的电子束(e)照射区之间的金属防护构件(10)。

主权项

一种X射线管，包括：真空壳，所述真空壳包含处于真空状态的内部与由透射X射线的X射线透射膜构成的窗部件；电子束源，所述电子束源设置在所述真空壳中以发射电子束；目标件，用所述电子束照射所述目标件以产生主X射线并发射所产生的主X射线穿过所述窗部件到外部样品，所述目标件设置在所述窗部件上且具有比所述窗部件的外直径小的外直径；X射线检测件，所述X射线检测件设置在所述真空壳中来检测荧光X射线和散射X射线以输出含有所述荧光X射线和所述散射X射线的能量信息的信号，所述荧光X射线和所述散射X射线从所述样品发射以穿过所述窗部件入射；以及防护部分，所述防护部分设置在所述X射线检测件与所述目标件的所述电子束照射区之间。