减小了循环时间的用于厚膜电阻性器件的制造工艺

摘要

提供一种形成诸如负载电阻器或加热器的电阻性器件的工艺，包括：在基板、目标上或相邻的功能层上形成电介质层，其中该电介质层以一种形式限定单层的电介质带。该电介质带通过单个压力、温度和时间的预定循环被层压到所述基板、目标或相邻的功能层，然后在该电介质层上形成电阻层，并在该电阻层上方形成保护层。

主权项

一种形成电阻性器件的工艺，包括：将限定单层的电介质带的电介质层置于基板上；将所述单层的电介质带通过单个压力、温度和时间的预定循环层压到所述基板，使得所述单层的电介质带被以基本均匀的厚度和粘附力层压到所述基板；在将所述单层的电介质带层压到所述基板之后，在所述电介质层上形成电阻层；以及在所述电阻层上方形成保护层。