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发明名称
BATCH-TYPE ATOMIC LAYER VAPOUR-DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
EP2249379(B1)
申请公布日期
2012.07.11
申请号
EP20090710337
申请日期
2009.02.10
申请人
KR
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/455
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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