薄膜太阳电池用复合背反射金属电极及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳电池用复合背反射金属电极，它是一种复合多层膜，在衬底上依次沉积过渡层金属、银膜和掺铝氧化锌。本发明还公开了该复合背反射金属电极的制备方法。本发明复合背反射金属电极由于过渡层金属与柔性衬底有优异的黏附力，使得所沉积的各层薄膜不易从衬底上脱落；同时，银膜具有明显的织构，形成陷光结构，增强了入射光的反射，使得入射光在电池吸收层中的吸收更充分，提高电池性能；掺铝氧化锌具有合适的厚度，不仅阻止银在电池制备过程中扩散进入电池，还可以起到覆盖银膜表面尖峰以及增强反射光的作用。因此，本发明提高了薄膜与衬底之间的结合力，显著提高电池性能和均匀性。

主权项

一种薄膜太阳电池用复合背反射金属电极，其特征在于，它是一种复合多层膜，在衬底上依次沉积过渡层金属、银膜和掺铝氧化锌。