发明名称 |
一种透镜焦距及波前畸变测量装置 |
摘要 |
本发明涉及一种透镜焦距及波前畸变测量装置,该透镜焦距及波前畸变测量装置包括激光器、半透半反平面镜、平面反射镜以及焦距及波前畸变控制单元;半透半反平面镜和平面反射镜依次设置于激光器出射光路上;焦距及波前畸变控制单元设置于经平面反射镜反射至半透半反平面镜上并沿半透半反平面镜反射后的反射光路上。本发明提供了一种测量范围大、稳定性高、重复性好,测量结果置信度高的透镜焦距及波前畸变测量装置。 |
申请公布号 |
CN102564731A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201010591835.0 |
申请日期 |
2010.12.16 |
申请人 |
中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人 |
赵建科;段亚轩;陈永全;张杰 |
分类号 |
G01M11/02(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01M11/02(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
商宇科 |
主权项 |
一种透镜焦距及波前畸变测量装置,其特征在于:所述透镜焦距及波前畸变测量装置包括激光器、半透半反平面镜、平面反射镜以及焦距及波前畸变控制单元;所述半透半反平面镜和平面反射镜依次设置于激光器出射光路上;所述焦距及波前畸变控制单元设置于经平面反射镜反射至半透半反平面镜上并沿半透半反平面镜反射后的反射光路上。 |
地址 |
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 |