发明名称 |
水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件 |
摘要 |
本发明提供一种水反应性Al复合材料,其在选自杂质Cu量为40ppm以下的2NAl~5NAl中的Al中,以Al基准计,添加选自2~5wt%的In及0.7~1.4wt%的Bi的至少一种的金属而成。使用该材料制造的水反应性Al膜及该Al膜的制造。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。 |
申请公布号 |
CN102016102B |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN200980115456.X |
申请日期 |
2009.04.27 |
申请人 |
株式会社爱发科 |
发明人 |
门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 |
分类号 |
C23C4/06(2006.01)I;B01J19/00(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I |
主分类号 |
C23C4/06(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
贾成功 |
主权项 |
一种水反应性A l复合材料,其特征在于,在选自杂质Cu量为40ppm以下的2NAl~5NAl中的Al中,以Al基准计,添加选自2~5wt%的In及0.7~1.4wt%的Bi的至少一种的金属,进一步在所述A1中,添加以与Al中存在的杂质Si量的总和计在Al‑In的情况下成为0.04~0.6wt%、在Al‑Bi的情况下成为0.25~0.7wt%的量的Si而成。 |
地址 |
日本神奈川 |