减小挠性件变形及凸点分离的磁头折片组合及制造方法

摘要

本发明提供用于磁盘驱动单元的磁头折片组合的薄膜压电微致动器的系统及方法，以便减小挠性件变形及/或凸点分离。在若干实施例中，磁头折片组合可以包括具有悬臂挠性件的悬臂件。所述悬臂挠性件可以包括微致动器安装区域。所述悬臂挠性件的微致动器安装区域内可以安装微致动器。所述微致动器安装区域上至少形成一个用于增加悬臂挠性件强度的支撑板。所述支撑板可以为单个条形支撑板、两个互相分离的条形支撑板、圆形支撑板、矩形支撑板及/或形支撑板。所述支撑板可以由金属材料形成，并且可以借助化学蚀刻方法形成。

主权项

一种磁头折片组合，包括：具有悬臂挠性件的悬臂件，所述悬臂挠性件具有位于该悬臂挠性件上的压电元件安装区域；及安装于所述悬臂挠性件的压电元件安装区域的微致动器，其中所述压电元件安装区域上形成至少一个用于增加所述悬臂挠性件强度的支撑板，所述支撑板为金属支撑板；其中，所述压电元件安装区域分为两半部分，每半部分具有外边缘，所述压电元件安装区域的每半部分包括一个或多个：圆形支撑板；矩形支撑板；十字形支撑板；与所述压电元件安装区域的底部平行的单个条状支撑板；与所述压电元件安装区域的底部平行的两个互相分离的条状支撑板；与所述压电元件安装区域的边缘对齐的单个条状支撑板；及/或与所述压电元件安装区域的边缘对齐的两个互相分离的条状支撑板。