在综合氯硅烷设备中回收高沸点化合物

摘要

本发明涉及在流化床反应器中在290℃至400℃的温度下通过冶金硅与HCl反应制备三氯硅烷的方法，该方法的特征在于将高沸点化合物进料到流化床反应器中。

主权项

一种在流化床反应器中在290℃到400℃的温度下通过冶金硅与HCl反应制备三氯硅烷的方法，在该方法中将由硅、氯、可能的氢、氧和碳组成的并且沸点高于四氯化硅的高沸点化合物进料到流化床反应器中，其特征在于所述高沸点化合物来源于多晶硅生产中形成的废气。