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发明名称
摘要
申请公布号 JP4973238(B2) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 JP20070049445 申请日期 2007.02.28
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/41 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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