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发明名称 Deposition device using an electron beam and the secondary ion beam
摘要
申请公布号 KR101164641(B1) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 KR20090105659 申请日期 2009.11.03
申请人 发明人
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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