连续直写纳米粒子溶液的扫描探针及其制造方法

摘要

本发明提供了一种连续直写纳米粒子溶液的扫描探针，包括有探针针尖和悬臂梁的硅基底，位于探针针尖周边与探针针尖之间有环形针尖微通道从而与探针针尖形成火山口式结构的环形外壳，探针针尖顶端伸出环形外壳外，悬臂梁远离探针针尖的一端上有贮液槽，位于悬臂梁内的输送微通道的两端分别与环形针尖微通道、贮液槽连通，探针针尖顶端直径为18～22nm。本发明既具有AFM探针的书写分辨率，又可实现分子溶液的传输，能解决SPL技术瓶颈。本发明的另一个目的是为了提供这种扫描探针的制造方法。

主权项

连续直写纳米粒子溶液的扫描探针，包括有探针针尖和悬臂梁的硅基底，位于探针针尖周边与探针针尖之间有环形针尖微通道从而与探针针尖形成火山口式结构的环形外壳，探针针尖顶端伸出环形外壳外，悬臂梁远离探针针尖的一端上有贮液槽，位于悬臂梁内的输送微通道的两端分别与环形针尖微通道、贮液槽连通，探针针尖顶端直径为16～22nm。