一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备

摘要

本发明提供一种基片承载装置及应用该装置的基片处理设备。其中，上述基片承载装置包括基座、分布于基座上的用于承载基片的多个托盘，以及与基座及托盘相连接的旋转机构。借助上述旋转机构可驱动基座及托盘进行稳定、可靠的旋转运动，从而通过该基片承载装置可获得均匀的基片处理质量，且具有运行稳定、维护周期长等的优点。此外，本发明提供的基片处理设备具有与上述基片承载装置相同或类似的优点。

主权项

一种基片承载装置，包括基座、分布于所述基座上的用于承载基片的多个托盘，其特征在于，还包括与所述基座及托盘相连接的旋转机构，用于驱动所述基座及托盘进行旋转运动。