紫外纳米压印技术制备有机聚合物光波导放大器的方法

摘要

本发明属于聚合物光波导放大器制备技术领域，具体涉及采用紫外纳米压印技术制备有机聚合物柔性光波导放大器的方法。其是在高精度的、带有凸起波导图案的Si或聚合物模板上旋涂聚合物下包层材料，紫外纳米压印固化，再以得到的带有聚合物凹槽的薄膜为衬底，旋涂可溶性配合物材料芯层材料，然后进行真空烘干；再旋涂聚合物上包层材料，紫外固化后得到本发明所述的聚合物波导放大器。本发明的器件及其制作方法不仅容易控制聚合物芯层和包层材料的折射率差，而且容易控制每一层材料的厚度；器件成本低，成品率高，精度高，适合大批量生产。

主权项

一种紫外纳米压印技术制备有机聚合物光波导放大器的方法，其步骤如下：1)在带有凸起波导图案的Si或聚合物模板(1)上旋涂聚合物材料NOA63，然后紫外固化聚合物材料NOA63，并将其从Si或聚合物模板(1)上剥离后得到带有凹槽的下包层(2)；2)在带有凹槽的下包层(2)上旋涂芯层材料，接着热固化或光固化芯层材料，得到脊形结构的芯层(3)，然后在脊形结构的芯层(3)上旋涂聚合物材料NOA63，紫外固化后得到上包层(4)；3)对器件进行切割，从而得到柔性聚合物光波导放大器；其中，芯层材料为Er1.2Yb0.8(PBa)6(Phen)2、ErYb(DBM)3(MA)/SU‑8或掺入ErYb(DBM)3Phen的NOA61材料。