元件的制造方法与平坦化制程

摘要

本发明提供一种元件的制造方法与平坦化制程。该方法提供一基底，基底上已形成有多个图案以及位于图案之间的多个开口。于图案上形成一第一液态支撑层，第一液态支撑层填入开口中。将第一液态支撑层转变成一第一固态支撑层，第一固态支撑层包括形成于开口中的多个支撑件，其中支撑件形成于图案之间。对图案进行一处理步骤。将包括支撑件的第一固态支撑层转变成一第二液态支撑层。移除第二液态支撑层。本发明的元件的制造方法与平坦化制程具有较佳的效率与简化的步骤。

主权项

一种元件的制造方法，其特征在于包括：提供一基底，该基底上已形成有多个图案以及位于该些图案之间的多个开口；于该些图案上形成一第一液态支撑层，该第一液态支撑层填入该些开口中；将该第一液态支撑层转变成一第一固态支撑层，该第一固态支撑层包括形成于该些开口中的多个支撑件，其特征在于该些支撑件形成于该些图案之间；对该些图案进行一处理步骤；将包括该些支撑件的该第一固态支撑层转变成一第二液态支撑层；以及移除该第二液态支撑层。