| 发明名称 | 用于借助于激光三角法进行层厚度测量的方法和装置 | ||
| 摘要 | 通过在构件进行覆层之前和之后进行激光三角测量来使过程监控自动化。 | ||
| 申请公布号 | CN102575927A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201080047224.8 | 申请日期 | 2010.06.21 |
| 申请人 | 西门子公司 | 发明人 | 托尔斯滕·梅尔策-约基施;安德烈亚斯·奥佩特;迪米特里奥斯·托迈迪斯 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 张春水;田军锋 |
| 主权项 | 用于确定待覆层的构件(1、120、130、155)的层厚度的方法，其中在覆层(II)之前(I)和期间或者之后(III)借助于激光三角法测量所述构件(1、120、130、155)，并且从所述构件(1、120、130、155)的不同的测量(V)中计算层厚度，其中考虑所述构件(1、120、130、155)的变形。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||