测力传感器及其制造方法

摘要

本发明获得一种能够减小因基板接合后的残余应力导致的基板形变且能够改善成品率的测力传感器及其制造方法。在变位部在经由受压部承受来自外部的负荷时变位且具备电阻对应于该变位量而变化的多个压电电阻元件的传感器基板及支承该传感器基板的基体基板上分别设置有将变位部支承成变位自如的支承部和与多个压电电阻元件电连接的多个电连接部，将相互的支承部彼此及多个电连接部彼此接合。进而，在传感器基板及基体基板上，支承部及多个电连接部的至少一方设置到基板周缘。

主权项

一种测力传感器，其特征在于，通过将传感器基板与基体基板接合而成，所述传感器基板具备多个压电电阻元件，变位部在经由受压部承受来自外部的负荷时发生变位，所述多个压电电阻元件的电阻对应于该变位量而发生变化，在所述传感器基板上，在所述受压部的相反侧的形成有所述多个压电电阻元件的面上设置有传感器侧支承部和多个传感器侧电连接部，所述传感器侧支承部定位成其至少一部分与所述多个压电电阻元件在俯视下重叠且将所述变位部支承成变位自如，所述多个传感器侧电连接部位于比该传感器侧支承部靠基板周缘的位置且与所述多个压电电阻元件分别电连接，在所述基体基板上，在与所述传感器基板接合的接合面侧设置有基体侧支承部、多个基体侧电连接部、多个电极焊盘，所述基体侧支承部与所述传感器侧支承部接合，所述多个基体侧电连接部位于比该基体侧支承部靠基板周缘的位置而与所述多个传感器侧电连接部接合，所述多个电极焊盘形成为能够与从各基体侧电连接部引出的电气配线的端部外部连接。