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发明名称 PROJECTION EXPOSURE SYSTEM, BEAM DELIVERY SYSTEM AND METHOD OF GENERATING A BEAM OF LIGHT
摘要
申请公布号 KR20120079181(A) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 KR20127016377 申请日期 2005.12.01
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 KUSS MATTHIAS;FIOLKA DAMIAN;REISINGER GERD;MAUL MANFRED;DAVYDENKO VLADIMIR
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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