用于改善控制加热和冷却基板的设备与方法

摘要

描述了用于处理基板与控制基板的加热与冷却的方法及设备。提供第一波长范围内的辐射的辐射源在预定温度范围内加热基板，所述基板可吸收在所述第一波长范围内和所述预定温度范围内的第二波长范围内的辐射。滤片防止至少一部分的第二波长范围内的辐射到达所述基板。

主权项

一种用于加热基板的设备，所述设备包括：热源，所述热源提供第一波长范围的辐射并且在预定温度范围内加热所述基板，所述基板能吸收在所述第一波长范围内和所述预定温度范围内的第二波长范围内的辐射；工艺区域，所述工艺区域包括基板支撑件以支撑所述基板；以及滤片，所述滤片设置在所述基板支撑件与所述热源之间，以过滤来自所述热源的辐射，使得至少一部分的所述第二波长范围内的辐射不被所述基板吸收。