一种大功率全固态紫外激光装置

摘要

本发明提供一种大功率全固态紫外激光装置，沿光路依次包括：基频激光输出模块、Q开关、二倍频非线性光学晶体、准直聚焦模块、四倍频非线性光学晶体和分光模块，所述基频激光输出模块的激光晶体为Nd:YAG激光晶体，所述基频激光输出模块的通光端面镀有基频光波段增透膜，所述基频光波段为1112至1123nm波段。本发明可输出光束质量优异，功率密度较高的波长约280nm的紫外激光光束；在保证激光器长期稳定性的同时，兼顾了激光器的效率；并且本发明结构紧凑。

主权项

一种大功率全固态紫外激光装置，沿光路依次包括：基频激光输出模块(101、201、202)、Q开关(102、204)、二倍频非线性光学晶体(104、206)、准直聚焦模块(105、207)、四倍频非线性光学晶体(106、208)和分光模块(107、209)，所述基频激光输出模块(101、201、202)的激光晶体为Nd:YAG激光晶体，所述基频激光输出模块(101、201、202)的通光端面镀有基频光波段增透膜，所述基频光波段为1112至1123nm波段。