| 发明名称 | 一种减少金属腐蚀的清洗方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种减少金属层腐蚀的清洗方法。本发明在刻蚀残余清洗完成后的去离子水漂洗过程中，加入氧化剂。本发明的漂洗方法可利用铝的表面钝化的性质，在铝的表面形成了一层致密氧化膜，有效地减少了腐蚀的产生。 | ||
| 申请公布号 | CN102569023A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201010620024.9 | 申请日期 | 2010.12.30 |
| 申请人 | 安集微电子(上海)有限公司 | 发明人 | 王胜利;彭洪修;刘兵 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人 | 李佳铭 |
| 主权项 | 一种减少金属层腐蚀的清洗方法，刻蚀后的金属层在经清洗液刻蚀残余清洗后，经去离子水漂洗，其特征在于：在所述去离子水中加入氧化剂。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 | ||