清洗装置

摘要

公开了一种稳定地清洗基板的清洗装置。该清洗装置包括引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元；由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元；由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元；和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元。

主权项

一种清洗装置，包括：引导从外部供给的基板沿正确方向进入的基板入口引导单元；由所述基板入口引导单元供给所述基板以清除在所述基板上形成的灰尘的灰尘清除单元；由所述灰尘清除单元供给所述基板以清洗掉残留在所述基板上的残余灰尘的灰尘清洗单元；和控制从所述灰尘清洗单元卸下的所述基板的位置的位置控制单元；其中所述基板入口引导单元包括入口引导通道，所述入口引导通道引导从外部供给的所述基板正确进入所述灰尘清除单元中，且所述入口引导通道从外部向所述灰尘清除单元宽度逐渐变窄；其中所述基板入口引导单元包括上部结构和下部结构，所述上部结构和下部结构以预定距离彼此面对以在所述上部结构和下部结构之间形成所述入口引导通道，所述上部结构向所述入口引导通道喷射空气并抽取所喷射的空气，所述下部结构也向所述入口引导通道喷射空气并抽取所喷射的空气，由此将进入所述入口引导通道的所述基板保持在浮动状态中，其中所述上部结构的内表面相对于所述基板的上表面倾斜；其中所述上部结构的内表面面对所述基板的上表面；其中所述下部结构的内表面相对于所述基板的下表面倾斜；其中所述下部结构的内表面面对所述基板的下表面；以及其中所述入口引导通道形成在所述倾斜表面之间的空间中。