膜厚量测装置及其校正方法

摘要

本发明公开一种膜厚量测装置及其校正方法。所述膜厚量测装置包含至少两位于不同校正位置的固定座、一用于承载基材的承载机台，以及一量测头。所述量测头从承载机台接收当前所承载基材的标识；并从保存的对应关系中获取该标识对应的校正位置的参数，并移动到获取的参数所对应的校正位置上方，进而量测位于该校正位置的固定座上的校正片的膜厚实现校正。本发明针对不同基材而自动切换到对应的校正位置进行校正，可避免手动更换校正片的不便。

主权项

一种膜厚量测装置，其特征在于，包括：至少两个固定座，分别位于不同的校正位置，用于承载不同的校正片；一承载机台，位于所述固定座的一侧，用于承载一待量测的基材，并且储存当前承载的基材的标识；以及一量测头，位于所述固定座与所述承载机台上方，并从承载机台接收所述基材的标识，并从保存的对应关系中获取该标识对应的校正位置的参数，所述对应关系为标识与校正位置的参数的对应关系，并移动到获取的参数所对应的校正位置上方，量测位于该校正位置的固定座上的校正片的膜厚以实现校正。