反应罐及反应腔室

摘要

本实用新型公开了一种反应罐，包括罐体、一对翻盖以及设于罐体内的三个用于支撑若干晶圆的晶圆托架，所述翻盖活动安装于所述罐体的顶部两端，还包括一对在翻盖盖住罐体时能够与所述三个晶圆托架共同夹住所述晶圆的晶圆夹持架，所述晶圆夹持架分别安装于对应的翻盖的内侧。本实用新型还公开了一种采用如上所述反应罐的反应腔室。当晶圆在反应罐内进行反应时，由于晶圆被晶圆托架和晶圆夹持架上下固定住，使得晶圆无法移动，即使反应气体不断流动，也无法带动晶圆上下窜动，从而可以避免晶圆和其他部件(尤其是晶圆托架)发生碰撞，从而不但可以防止晶圆破碎，而且还可以避免因碰撞产生的颗粒物质影响晶圆，最终有效提高产品良率。

主权项

一种反应罐，包括罐体、一对翻盖以及设于罐体内的三个用于支撑若干晶圆的晶圆托架，所述翻盖活动安装于所述罐体的顶部两端，其特征在于，还包括一对在翻盖盖住罐体时能够与所述三个晶圆托架共同夹住所述晶圆的晶圆夹持架，所述晶圆夹持架分别安装于对应的翻盖的内侧。