装配镜板叠层的方法

摘要

本发明涉及用于装配包含多个镜板10和基板13的镜板叠层30的方法，其中所述多个镜板堆叠于所述基板上。而且，本发明涉及将两个或多个镜板叠层装配成刚性单元的方法。为了提高所述镜板的装配精确度，建议所述方法包括以下步骤：提供基板13，且第一镜板安装至所述基板；提供具有第二镜板的搬运工具；将间隔装置提供至所述第二镜板的第一表面；定位所述包含第二镜板的搬运工具以将所述第二镜板与所述第一镜板对准，所述第二镜板有间隔装置，其中所述第二镜板被相对于所述第一镜板基于所述第一镜板的测量的位置和形状对准，以补偿所述第一镜板的测量的位置和形状自所述第一镜板的预定的位置和形状的偏差；通过将所述间隔装置结合至所述第一镜板将所述第二镜板连接到所述第一镜板，其中所述间隔装置决定了第一镜板和第二镜板之间的预定的距离；通过自所述连接的第二镜板移走所述搬运工具暴露所述第二镜板的第二表面；和在所述第二表面已经被暴露后测量所述连接的第二镜板的位置和形状。

主权项

一种装配包含多个镜板(10)和基板(13)的镜板叠层(30)的方法，所述多个镜板堆叠于所述基板(13)上，所述方法包括以下步骤：‑提供安装有第一镜板的基板(13)；‑提供具有第二镜板的搬运工具；‑在第二镜板的第一表面上设有间隔装置；‑定位包含所述第二镜板的搬运工具以将所述第二镜板与所述第一镜板对准，所述第二镜板有间隔装置，其中所述第二镜板被相对于第一镜板基于第一镜板的测量的位置和形状对准，以补偿第一镜板的测量的位置和形状自第一镜板的预定的位置和形状的偏差；‑通过将所述间隔装置连接至所述第一镜板将所述第二镜板连接到所述第一镜板，其中所述间隔装置决定了第一镜板和第二镜板之间的预定的距离；‑通过自所述连接的第二镜板移走搬运工具暴露所述第二镜板的第二表面；和‑在所述第二表面已经被暴露后测量所述连接的第二镜板的位置和形状。