用于制造平面显示器的基板的清洗液组合物

摘要

本发明公开了一种用于清洗用于平面显示器的基板表面的水性清洗组合物衍生物，所述水性清洗组合物包括硼酸组分和选自有机磷酸和其盐中的一种或多种化合物，且在制造平面显示器期间，可高度去除基板上产生的有机污染物或颗粒，以及非常有效地防止在基板上形成的金属布线的腐蚀。所述水性清洗组合物包括大量去离子水，因此容易处理和对环境友好。

主权项

一种用于制造平面显示器的水性清洗组合物，包含：硼酸组分、选自有机磷酸和其盐中的一种或多种化合物、和水。