结合方法及其装置

摘要

本发明涉及一种结合方法及其装置。氮气罐(22)、回转泵(30)和机械增压泵(31)连接到结合容器(12)，结合容器(12)构成用于进行扩散结合的结合装置(10)，所述结合装置进一步包括压力传感器(32)。结合容器(12)内形成有氮气气压，在控制电路(38)的控制操作下，氮气导入量被控制，致使压力基本上固定在3-105Pa之间的预定压力上。在这种状态时，在液压缸(44)的杆(46)的作用下，第二电极(16)趋近第一电极(14)，并最终压在位于第一电极(14)上的第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)上。此外，电流通过第一电极(14)和第二电极被施与第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)。

主权项

一种扩散结合方法，其特征在于，在对由金属形成并且相互接触的第一结合物体(W1)和第二结合物体(W2)进行加热时，并且压力被施加到所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)，并且所述第一结合物体(W1)的原子扩散进入所述第二结合物体(W2)中，所述第二结合物体(W2)的原子也扩散进入所述第一结合物体(W1)中，从而使两个结合物体(W1，W2)连接在一起，所述方法包含以下步骤：将所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)放置在结合容器(12)中，并将氮气引入所述结合容器(12)中，同时将所述结合容器(12)内的压力控制在3Pa至105Pa之间；和对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热，同时对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加压。