一种真空电镀的设备

摘要

本实用新型公开了一种真空电镀的设备，其包括清洗及检测流水线段，加热、镀膜及冷却流水线段，所述加热、镀膜及冷却流水线段为两段，分别安装在两条真空室内，两真空室内均设有供承载基片的基片架小车滑行的导轨，导轨之间互相平行，采用过渡机构连接；所述底板上固定安装有承载基片架轨道的平移导轨，所述平移导轨与基片架轨道相互垂直设置，所述基片架轨道通过丝杆装置可在平移导轨上前后移动。本新型采用过渡机构，使承载基片的基片架小车平移过去，而不发生回转，从而生产出基片两面都具有薄膜的产品；同时，该机构兼具旋转功能，同样可以生产单面镀膜产品；只要在PLC设置成不同的模式，便可以方便的切换，提高效率。

主权项

一种真空电镀的设备，包括清洗及检测流水线段，加热、镀膜及冷却流水线段，出片、卸片及质检性能测试流水线段；所述加热、镀膜及冷却流水线段为两段，分别安装在两条真空室内，两真空室内均设有供承载基片的基片架小车滑行的导轨，导轨之间互相平行，采用过渡机构连接；所述过渡机构包括固定安装在旋转轴上的底板和基片架轨道，所述旋转轴由旋转驱动电机驱动，其特征在于：所述底板上固定安装有承载基片架轨道的平移导轨，所述平移导轨与基片架轨道相互垂直设置，所述基片架轨道通过丝杆装置可在平移导轨上前后移动。