发明名称 一种基于电容辅助触发的双向可控硅器件
摘要 本发明公开了一种基于电容辅助触发的双向可控硅器件,包括P衬底层;P衬底层上设有第一N阱、P阱和第二N阱;第一N阱上设有第一N+有源注入区、第一P+有源注入区和第二N+有源注入区;第二N阱上设有第三N+有源注入区、第二P+有源注入区和第四N+有源注入区;第三N+有源注入区连接有第一电容,第一电容的另一端与第一金属电极相连;第二N+有源注入区连接有第二电容,第二电容的另一端与第二金属电极相连。本发明可控硅器件利用电容作为辅助触发单元,使得器件具有可调且较低的正反向击穿电压,使得器件可适用于深亚微米工艺下的片上ESD防护,尤其可适用于一些混合电压接口电路或者不同电源域间的ESD防护应用。
申请公布号 CN102569295A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201210060501.X 申请日期 2012.03.09
申请人 浙江大学 发明人 郑剑锋;韩雁;马飞;董树荣;吴健;苗萌;曾杰
分类号 H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人 胡红娟
主权项 一种基于电容辅助触发的双向可控硅器件,其特征在于,包括:P衬底层(10);所述的P衬底层(10)上从左到右依次设有第一N阱(21)、P阱(23)和第二N阱(22),所述的P阱(23)与第一N阱(21)和第二N阱(22)并排相连;所述的第一N阱(21)上从左到右依次并排设有第一N+有源注入区(41)、第一P+有源注入区(51)和第二N+有源注入区(42);所述的第二N阱(22)上从左到右依次并排设有第三N+有源注入区(43)、第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44);所述的第一N+有源注入区(41)和第一P+有源注入区(51)通过第一金属电极(61)相连,所述的第二P+有源注入区(52)和第四N+有源注入区(44)通过第二金属电极(62)相连;所述的第三N+有源注入区(43)连接有第一电容,所述的第一电容的另一端与第一金属电极(61)相连;所述的第二N+有源注入区(42)连接有第二电容,所述的第二电容的另一端与第二金属电极(62)相连。
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