真空处理装置、图表显示方法

摘要

本发明能提取测定值的一部分进行图表化以简单地对提取的测定值彼此进行比较。读入大量的测定值并将其作为一次图表（132）显示在画面（100）上，对起点进行指示并提取成为比较对象的测定值，利用二次图表（134a、134b）显示所提取的测定值。在二次图表（134a、134b）不重合时，通过第一、第二主测量线（101、102）对图表线（134a、134b）的错开量进行测定，能使错开的二次图表（134a、134b）的一方移动而实现重合。

主权项

一种真空处理装置，其具有：对配置于真空槽内的处理对象物进行真空处理的真空处理部、将所述真空处理部输出的多个测定值与测定时刻一起与所述真空处理相对应地存储起来的存储装置、对所述测定值进行运算的运算装置、以及显示所述运算装置的运算结果的显示装置，其中，在所述存储装置中存储有数据分析程序，所述数据分析程序被构成为：当从存储在所述存储装置内的多个所述测定值中选择显示图表线的测定值时，将被选择的所述测定值的所述测定时刻，换算成作为从规定的基准时刻起的时间的X轴上换算时刻，将X‑Y坐标的X轴上的规定位置作为所述基准时刻的位置，根据所述X轴上换算时刻求取所述测定值的所述X轴上的位置，根据所述测定值的大小求取Y轴上的位置，根据测定时刻连续的多个所述测定值的所述X轴上的位置和所述Y轴上的位置，生成第一次图表线，并将其与所述X‑Y坐标一起显示于显示装置上，将显示的所述第一次图表线的所述测定时刻之一作为提取起点时刻，提取所述第一次图表线的所述测定值中的所述测定时刻在所述提取起点时刻以后的所述测定值，将所述起点开始时刻作为所述基准时刻，根据提取的所述测定值和所述测定时刻，在所述X‑Y坐标上显示第二次图表线。