发明名称 | 掩模 | ||
摘要 | 公开了一种可用于在淀积设备中在衬底上形成图案的掩模,以及使用该掩模来制造显示装置的方法。所述掩模包括掩模图案和框架。该掩模具有渐缩形状,其中该框架的内表面在从上端到下端的方向上渐缩。使用该掩模的掩模图案在衬底上形成薄膜图案。所述框架支持所述掩模图案的外部,并且包括在设置所述掩模图案的内侧方向渐缩的斜面。 | ||
申请公布号 | CN102560409A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
申请号 | CN201110441446.4 | 申请日期 | 2011.12.26 |
申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 李宰赫;申荣训 |
分类号 | C23C16/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/04(2006.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;吕俊刚 |
主权项 | 一种用于在衬底上形成薄膜图案的掩模,该掩模包括:掩模图案,该掩模图案限定了要形成在所述衬底上的所述薄膜图案;以及框架,该框架支持所述掩模图案,并且包括在设置所述掩模图案的内侧方向渐缩的斜面。 | ||
地址 | 韩国首尔 |