基板转运设备

摘要

一种基板转运设备，用于接收自一进料位置取出的待处理基板以及将已处理基板送进一出料位置，于该进料位置以及出料位置间用于衔接一基板制程装置，该基板转运设备包括有一设置于该进料位置的导入机台、一设置于该出料位置的导出机台及至少两组于该些运行轨道及该基板制程装置之间作动的汲取装置，而该导入机台及导出机台皆具有升降模组、牙叉式轨道及运行轨道，其中导入机台能够输出基板，并由汲取装置将基板搬运至该基板制程装置，而基板制程装置所处理后的基板，能够再由汲取装置搬运及由导出机台接收来自该基板制程装置所输出基板，另外该汲取装置于搬运基板的过程中，旋转该基板的方向，以方便承接后续其他制程设备的使用。

主权项

一种基板转运设备，用于接收自一进料位置取出的待处理基板以及将已处理基板送进一出料位置，于该进料位置以及出料位置间用于衔接一基板制程装置，其特征在于，该基板转运设备包括有：一设置于该进料位置、用于输出该些基板至该基板制程装置的导入机台，其包含：至少一组升降模组，该升降模组用以置放至少一个基板承载装置，该基板承载装置用以装载该待处理基板；至少一组牙叉式轨道，用以将该待处理基板自该基板承载装置依序取出；至少一组运行轨道，用以承接运送来自该牙叉式轨道的该待处理基板；一设置于该出料位置、用于接收来自该基板制程装置所输出该已处理基板的导出机台，其包含：至少一组的升降模组，该升降模组用以置放至少一个基板承载装置，该基板承载装置用以装载该已处理基板；以及至少一组牙叉式轨道，用以将该已处理基板依序送入该基板承载装置；至少一组运行轨道，用以承接来自该基板制程装置所输出该已处理基板；以及至少两组于该运行轨道及该牙叉式轨道之间作动的汲取装置，用于搬运该待处理基板及已处理基板。