发明名称 Specimen stage-moving device for charged-particle beam system
摘要
申请公布号 EP1975974(B1) 申请公布日期 2012.07.11
申请号 EP20080251272 申请日期 2008.03.31
申请人 JP 发明人
分类号 H01J37/20;H01J37/26 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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