大气压等离子体产生装置和产生方法

摘要

一种大气压等离子体产生装置，包括：基板(2、22)；配置在基板(2、22)上的天线(3、17、26、38)；配置在天线(3、17、26、38)附近的放电管(4、18、28、37)；将VHF频段的高频功率供给天线(3、14、26、38)的高频电源(8)；以及输入来自高频电源(8)的高频并调整反射波的匹配电路(7)，其中，在匹配电路(7)与天线(3、17、26、38)之间连接相位电路(6)，设定相位电路(6)的电路常数，使得驻波的电流振幅最大值的位置或驻波的电压振幅最小值的位置为天线(3、17、26、38)附近，从而效率良好地产生等离子体而且能小型化。

主权项

一种大气压等离子体产生装置，其特征在于，包括：天线(3、17、26、38)；配置在天线附近并在一端供给气体的放电管(4、18、28、37)；对天线供给30MHz～500MHz的高频功率的高频电源(8)；设置在天线与高频电源之间对来自天线的反射波进行调整的匹配电路(7)；以及设置在天线与匹配电路之间对天线附近的相位进行调整的相位电路(6)，将天线配置在第一基板(22)上，并在所述第一基板(22)上以夹住天线的方式叠积第二基板(23)来构成叠层基板(25)，而且在所述第一基板(22)中的不叠积第二基板(23)的区域中，所述叠层基板(25)还包括第四基板(36)，将构成匹配电路或相位电路的立体状的电抗元件配置在配置有天线的所述第一基板(22)上，并用所述第四基板(36)夹住并覆盖所述电抗元件，将所述电抗元件内置于所述叠层基板(25)内，所述天线(3、17、26、38)是平面状的天线，将所述天线配置成夹在所述叠层基板(25)的所述第一基板(22)和所述第二基板(23)之间。