| 发明名称 | 硅片机械手 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种硅片机械手，所述硅片机械手包括：基座板、驱动机构、传动机构和用以承接硅片的承接板，所述驱动机构和传动机构固定于所述基座板上，所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述承接板，所述传动机构穿过所述驱动机构的中心位置。通过本发明提供的硅片机械手，所述传动结构和驱动机构的出力方向一致，避免了驱动力的损耗，提高了传动效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102569151A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201010618308.4 | 申请日期 | 2010.12.30 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 范哲光;黎刚生;齐芊枫;郑椰琴 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;F16C32/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种硅片机械手，包括：基座板、驱动机构、传动机构和用以承接硅片的承接板，所述驱动机构和传动机构固定于所述基座板上，所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述承接板，其特征在于，所述传动机构穿过所述驱动机构的中心位置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||