发明名称 |
真空镀膜用离子轰击板机构 |
摘要 |
一种真空镀膜用离子轰击板机构,它包括电源、与电源阴极相连的充气管(1)、与电源阳极相连的冷却水管(2)和绝缘件(7),所述的冷却水管(2)与充气管(1)相对设置,待轰击基材(8)从冷却水管(2)和充气管(1)间的夹隙中通过,进行离子轰击,所述的充气管(1)的一端为进气口(3),充气管(1)上与待轰击基材(8)相对的一面设有若干个出气口(4),所述的充气管(1)和冷却水管(2)的两端夹装绝缘件(7)。本发明通过物理方法对基材表面改性,提高基材于膜层的附着力,改善品质。其设计结构简单,安装方便;能保证镀件基材的清洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。 |
申请公布号 |
CN102568990A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201210067552.5 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
无锡康力电子有限公司 |
发明人 |
朱殿荣;曹俊 |
分类号 |
H01J37/305(2006.01)I;H01J37/36(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/305(2006.01)I |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 32218 |
代理人 |
夏平 |
主权项 |
一种真空镀膜用离子轰击板机构,其特征是它包括电源、与电源阴极相连的充气管(1)、与电源阳极相连的冷却水管(2)和绝缘件(7),所述的冷却水管(2)与充气管(1)相对设置,待轰击基材(8)从冷却水管(2)和充气管(1)间的夹隙中通过,进行离子轰击,所述的充气管(1)的一端为进气口(3),充气管(1)上与待轰击基材(8)相对的一面设有若干个出气口(4),所述的充气管(1)和冷却水管(2)的两端夹装绝缘件(7)。 |
地址 |
214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号 |