发明名称 真空镀膜用离子轰击板机构
摘要 一种真空镀膜用离子轰击板机构,它包括电源、与电源阴极相连的充气管(1)、与电源阳极相连的冷却水管(2)和绝缘件(7),所述的冷却水管(2)与充气管(1)相对设置,待轰击基材(8)从冷却水管(2)和充气管(1)间的夹隙中通过,进行离子轰击,所述的充气管(1)的一端为进气口(3),充气管(1)上与待轰击基材(8)相对的一面设有若干个出气口(4),所述的充气管(1)和冷却水管(2)的两端夹装绝缘件(7)。本发明通过物理方法对基材表面改性,提高基材于膜层的附着力,改善品质。其设计结构简单,安装方便;能保证镀件基材的清洁、干燥,避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。
申请公布号 CN102568990A 申请公布日期 2012.07.11
申请号 CN201210067552.5 申请日期 2012.03.14
申请人 无锡康力电子有限公司 发明人 朱殿荣;曹俊
分类号 H01J37/305(2006.01)I;H01J37/36(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I 主分类号 H01J37/305(2006.01)I
代理机构 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人 夏平
主权项 一种真空镀膜用离子轰击板机构,其特征是它包括电源、与电源阴极相连的充气管(1)、与电源阳极相连的冷却水管(2)和绝缘件(7),所述的冷却水管(2)与充气管(1)相对设置,待轰击基材(8)从冷却水管(2)和充气管(1)间的夹隙中通过,进行离子轰击,所述的充气管(1)的一端为进气口(3),充气管(1)上与待轰击基材(8)相对的一面设有若干个出气口(4),所述的充气管(1)和冷却水管(2)的两端夹装绝缘件(7)。
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