发明名称 |
着色感光性树脂组合物、滤色器及液晶显示装置 |
摘要 |
本发明提供一种显影时的图案形成性良好、可以形成微细图案的着色感光性树脂组合物。该着色感光性树脂组合物包含含有黑色材料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂而构成,在透明基板上形成含有光学密度成为4.0的着色感光性树脂组合物的感光性树脂层,将从与感光性树脂层的透明基板侧相反的面侧,隔着掩模对感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的第1图案的线宽为W1,在该第1图案的线宽W1相对于掩模的线宽W2之比W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下得到的第1图案的膜厚为d2;和从感光性树脂层的透明基板侧的面侧,隔着掩模和所述透明基板在所述曝光、显影条件下对感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为d1,d1与d2之比设定为0.3以上。 |
申请公布号 |
CN102576190A |
申请公布日期 |
2012.07.11 |
申请号 |
CN201080043288.0 |
申请日期 |
2010.05.17 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
儿玉知启;柏木大助 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G02B5/22(2006.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/029(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种着色感光性树脂组合物,其包含含有黑色的色料的着色剂、碱可溶性树脂、具有3个以上聚合性基团的聚合性化合物、聚合引发剂或聚合引发体系、和溶剂,其中,在透明基板上以光学密度成为4.0的方式形成含有所述着色感光性树脂组合物的感光性树脂层,从与所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面相反的面侧,隔着掩模对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而形成的在第1图案的线宽为W1,并在该第1图案的线宽W1相对于所述掩模的线宽W2之比W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下得到的所述第1图案的膜厚为d2,从所述感光性树脂层的和所述透明基板对置的面侧,隔着掩模和所述透明基板在所述W1/W2成为0.7~1.5的范围的曝光、显影条件下对所述感光性树脂层进行曝光、显影处理而得到的第2图案的膜厚为d1,d1与d2之比为0.3以上。 |
地址 |
日本国东京都 |