| 发明名称 | 用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本文公开一种用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物，以所述组合物的总重量计，所述组合物包括：过氧化氢5～30wt％、含氟化合物0.01～5wt％、可溶于水的环胺化合物0.1～5wt％、无机酸0.1～10wt％和余量的水。 | ||
| 申请公布号 | CN102569058A | 申请公布日期 | 2012.07.11 |
| 申请号 | CN201110427483.X | 申请日期 | 2011.12.19 |
| 申请人 | 东友FINE-CHEM股份有限公司 | 发明人 | 李友兰;李石;李铉奎;李恩远 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人 | 武晨燕;张颖玲 |
| 主权项 | 一种用于欧姆接触层的刻蚀剂组合物，其特征在于，以所述组合物的总重量计，所述组合物包括：过氧化氢5～30wt％；含氟化合物0.01～5wt％；可溶于水的环胺化合物0.1～5wt％；无机酸0.1～10wt％；及余量的水。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||