正型光敏树脂组合物，利用其制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件

摘要

本发明公开了一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及使用该正型光敏树脂组合物制备的光敏树脂膜和该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的膜残留率、敏感度和分辨率。[化学式6]

主权项

1.一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由以下化学式6表示的化合物的溶解控制剂；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂；[化学式6]其中，在化学式6中，Z¹和Z²相同或不同，并且各自独立地是单键、-O-、-CO-、-CONH-、-S-、-SO₂-、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基-OR²⁰³-，其中R²⁰³是取代的或未取代的亚烷基，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基-OR²⁰⁴-，其中R²⁰⁴是取代的或未取代的亚芳基，G¹是氢、取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团、取代的或未取代的C3至C30脂环族有机基团、取代的或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代的或未取代的C2至C30杂环基团、或-T¹-R³⁰⁰，其中T¹是单键、-O-、-CO-、-CONH-、-S-、-SO₂-、取代的或未取代的C1至C10亚烷基氧基-OR³⁰¹-，其中R³⁰¹是取代的或未取代的亚烷基)，或取代的或未取代的C6至C15亚芳基氧基-OR³⁰²-，其中R³⁰²是取代的或未取代的亚芳基，且R³⁰⁰是取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团、取代的或未取代的C3至C30脂环族有机基团、取代的或未取代的C6至C30芳香族有机基团、或者取代的或未取代的C2至C30杂环基团，R⁷和R⁸相同或不同，并且各自独立地是氢、或者取代的或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，n1是0至5的整数，n2是0至4的整数，以及n3是0至10的整数。